背景知识

在当今高度发达的芯片产业中，芯片料盘作为芯片运输、存储和加工过程中的关键载体，其平面度直接影响到芯片的质量与性能。微小的平面度偏差可能导致芯片在后续处理过程中出现位置偏移、接触不良甚至损坏等问题，进而影响整个芯片生产线的良率和效率。随着科技的飞速发展，3D 相机技术的出现为芯片料盘平面度检测带来了前所未有的解决方案，它以高精度、非接触和高效率等显著优势，正在重塑芯片料盘检测的格局。

相机选型

今天为大家介绍的是翌视科技LVM2540线激光3D相机在制造业检测中的应用案例！

翌视科技的LVM2540 3D智能传感器，其全画幅采集速率2500Hz，通过设置ROI最高可达56000Hz；物理轮廓点数1920点，深度图均匀间距采样条件下最高可达4096点，产品综合性能处于行业领先水平，是高速在线检测系统的理想选择！ 

检测项目

工件信息

·材质：塑料

·颜色：黑色

·尺寸：320×135mm

检测要求

·料盘边缘台阶面平面度，精度要求0.05mm

检测环境及安装方式

·扫描方式： 相机固定，测试样件沿中心直线运动进行扫描测量

·触发方式：采用编码器触发，输出稳定的AB相差分信号

·通信方式：TCP/IP以太网

采图效果

·图为产品一点云效果图

·图为产品二点云效果图

测量数据

检测结论

·10次静态最大重复性数据最大值为0.0102mm，满足平面度0.05的检测需求

关于翌视

翌视科技成立于2017年，是一家集工业视觉产品设计、研发、生产、销售、服务于一体的高新技术企业。公司专注于工业视觉产品的底层算法开发与硬件实现，具有全套自主知识产权的软硬件技术，以成为最值得信赖的视觉传感器领导者为目标。

▲精研视觉科技·服务中国智造

翌视研发的LVM系列3D智能传感器，将行业领先的3D成像算法硬化在芯片中，实现高速、高性能的测量，其重复精度达到0.1微米，产品的性能指标超过国外同行，可实现进口替代。目前，公司产品已广泛应用于消费电子制造、新能源制造、汽车制造、钣金加工、木材加工、食品饮料加工等多个领域。