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PCSS3060
超高精度,适应不同被测物:镜面、透明、半透明、膜层、深孔、内壁、多层玻璃
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产品详情
型号参数
PCSS3060
控制器
PCSC3001/PCSC3002
参考距离(mm)
40
测量范围(mm)
±3
测量角度(°)
±14
光斑直径(μm)
Φ21
静态噪声(nm)
135
横向分辨率(μm)
10.5
线性误差(μm)
<±1.2
最小可测厚度
5%ofF.S
温度特性
0.05%ofF.S./℃
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