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PCSS3500

超高精度，适应不同被测物：镜面、透明、半透明、膜层、深孔、内壁、多层玻璃

产品详情

型号参数

PCSS3500
控制器

PCSC3001/PCSC3002
参考距离(mm)

100
测量范围(mm)

±25
测量角度(°)

±9.5
光斑直径(μm)

Φ25
静态噪声(nm)

855
横向分辨率(μm)

12.5
线性误差(μm)

<±5
最小可测厚度

5%ofF.S
温度特性

0.03%ofF.S./℃

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